1. 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 4842-2017《氬》、GB/T 28726、SEMI電子級標(biāo)準(zhǔn)

1. 檢測純度：5N(99.999%)、6N(99.9999%)

1. 典型控制指標(biāo)：

• 氧O? ≤1ppm

• 氮N? ≤1ppm

• 氫H? ≤0.1ppm

• 一氧化碳CO ≤0.1ppm

• 二氧化碳CO? ≤0.1ppm

• 總烴THC ≤0.1ppm

• 水分H?O ≤0.5ppm

1. 氣相色譜法（GC-PDHID/TCD）

2. 熱導(dǎo)法（TCD）

3. 微量氧/微量水分析儀

4. 固定在線式系統(tǒng)

1. 取樣：使用不銹鋼拋光管路、專用減壓器，防止污染

2. 預(yù)處理：吹掃、穩(wěn)壓、除濕、除油

3. 進(jìn)樣分析：離線色譜/在線設(shè)備連續(xù)檢測

4. 數(shù)據(jù)記錄：實時濃度、曲線、報警記錄

5. 報告輸出：純度、雜質(zhì)含量、合格判定

五、在線監(jiān)測推薦：ERUN-PG51AR固定在線式氬氣檢測分析儀

1. 采用進(jìn)口高精度TCD熱導(dǎo)傳感器，穩(wěn)定性強(qiáng)、壽命長

1. 測量范圍：0~100%Vol，支持高純氬氣精準(zhǔn)分析

1. 支持管道式/壁掛式/流通式安裝，適配現(xiàn)場工況

1. 4-20mA+RS485標(biāo)準(zhǔn)輸出，可接入DCS/PLC/上位機(jī)

1. 兩級聲光報警，超標(biāo)自動提醒，保障生產(chǎn)安全

1. 紅外遙控校準(zhǔn)，不開蓋操作，更安全便捷

1. 防爆結(jié)構(gòu)設(shè)計，適用于工業(yè)危險場所

1. 空分設(shè)備氬氣精餾單元在線監(jiān)測

1. 氣體充裝廠高純氬氣出廠質(zhì)控

1. 半導(dǎo)體/光伏車間氬氣管道實時監(jiān)測

1. 激光焊、不銹鋼焊氬氣純度保障

1. 實驗室/科研院所高純氣在線分析

六、方案價值

1. 精準(zhǔn)把控高純氬氣雜質(zhì)含量，提升產(chǎn)品良率

2. 實現(xiàn)24小時在線監(jiān)測，減少人工巡檢成本

3. 超標(biāo)提前預(yù)警，避免工藝事故與原料浪費(fèi)

4. 數(shù)據(jù)可追溯，滿足審核、驗廠、客戶要求

七、總結(jié)